武蔵野の開発が本格化するのは、近世になってからである。一般に、近世の武蔵野開発には三度のピークがあったとされる。一度目は近世初期の慶長年間頃（一五九六～一六一五）、二度目は寛永年間（一六二四～四四）～元禄年間（一六八八～一七〇四）にかけての頃、三度目は八代将軍徳川吉宗（とくがわよしむね）が行った享保改革の時期（一八世紀前半）となるが、三度目のピークについては次節で述べ、ここでは、一度目と二度目のピークに行われた開発がどのようなものであったかをみていくことにしよう。
　まず、表1－1として掲げたのは、一度目と二度目のピークが含まれる一七世紀に、武蔵野にひらかれた新田村の一覧で、郡毎に村名と開発年代、完成時期の目安となる総検地年代、開発人などの情報を示してある。表に示したものだけでも、四一か村が確認でき、一七世紀の武蔵野で開発が活発に行われたようすがよくわかる。なかでも開発年代の早いものは、多摩郡の新町村（しんまちむら）（表中1）、砂川村（すながわむら）（2）、矢ケ崎村（やがさきむら）（4）、入間郡の豊田新田（とよだしんでん）（15）、大袋新田（おおふくろしんでん）（16）、大塚新田（おおつかしんでん）（20）で、慶長年間頃にひらかれたとされる。これらが、一度目のピークに開発された村々である。

　いくつかの村を例に開発のあらましを確認すると、新町村（現青梅市）は、北条氏に属した忍城主成田氏（おしじょうしゅなりたし）の元家臣で、当時下師岡村（しももろおかむら）に居住していた吉野織部之助（よしのおりべのすけ）により、慶長一六年（一六一一）にひらかれたとされる。また、大袋新田（現埼玉県川越市）は、北条浪人の横山次右衛門（よこやまじえもん）により慶長年間頃に、矢ケ崎村（現調布市）は浪人矢ケ崎長右衛門（やがさきちょうえもん）により近世初頭に、それぞれひらかれたという。砂川村（現立川市）は、当時岸村（きしむら）（現武蔵村山市）に居住していた村野家（むらのけ）により、慶長一四年にひらかれたとされているが、開発人の村野家は岸村を含む村山郷の中世来の有力者であったようである。このように、一度目のピークに行われた開発は、土着した武士もしくは地域の有力者であった土豪（どごう）の系譜をひく者たちにより進められたものであった。
　二度目のピークの時期には引き続き、保谷村（ほうやむら）（現西東京市）の下田三右衛門（しもださんえもん）がひらいた境村（さかいむら）（現武蔵野市、13）のように、土豪による開発が行われていたが、それとともに、江戸の発展とかかわった開発が行われるようになった。たとえば、江戸の水需要の増大に対応するため、承応年間（一六五二～五五）に開削された玉川上水の敷地の代替地に、高井戸村（たかいどむら）の住民たちが移動して開発した中高井戸村（なかたかいどむら）（現杉並区、9、当初は高井戸新田といった）は、その最たるものである。このほかにも、明暦三年の江戸の大火（明暦の大火）で被害を受けた神田連雀町（かんだれんじゃくまち）（現千代田区）の町民二五戸が、その地を火除地（ひよけち）として没収されたため、移住してひらいた下連雀村（しもれんじゃくむら）（現三鷹市、12、当初は上連雀新田といった）、やはり明暦の大火で被災し、江戸本郷元町（現文京区）の吉祥寺門前（きちじょうじもんぜん）の住民が移住してひらいた吉祥寺村（現武蔵野市、7）などがある。小川村は、まさにこの二度目のピークのなかで開発された新田村だった。