大永年間（1521～28）に罹災した口碑があるので、創建はそれ以前に遡ると思われます。なお、『大日堂縁起』では天正年間（1573～92）建立の大日八坊の一つとなっています。

江戸時代には、大日堂領御朱印10石のうち３石を配当され、その別当寺院として重要な位置にありました。現在も大日堂や仁王門などの管理に当たっています。堂宇は数回の火災に遭遇し、特に大正６年（1917）の拝島の大火[注1]で『大日堂縁起』や什物・記録の大半を失いました。明治初期には「拝島学校」も置かれました。

[注1] 拝島の大火 …… 大正6年3月18日午後2時出火。午後4時鎮火し死者なし。全焼64戸ほか。当日、拝島小学校高等科1，2年生は遠足で夜帰着し大騒ぎに。罹災者は拝島大師境内へ避難。